石(shi)英坩(gan)堝(guo),具(ju)有高純度、耐(nai)溫(wen)性強、尺寸大精度高、保(bao)溫(wen)性好、節約能(neng)源(yuan)(yuan)、質量穩定等優點,應用越來(lai)越廣泛(fan)。目前,國內石(shi)英坩(gan)堝(guo)生(sheng)產(chan)企業(ye)生(sheng)產(chan)中使(shi)用的生(sheng)產(chan)設(she)備(bei)(bei)及工藝技(ji)(ji)術全部源(yuan)(yuan)于上(shang)世(shi)紀70年代初錦州155廠從日本引進的生(sheng)產(chan)設(she)備(bei)(bei)及工藝技(ji)(ji)術,該項技(ji)(ji)術設(she)備(bei)(bei)自動化程度不(bu)高,整個生(sheng)產(chan)過程中更多(duo)的依(yi)靠人(ren)工來(lai)實現,現在(zai)國內新上(shang)的坩(gan)堝(guo)生(sheng)產(chan)設(she)備(bei)(bei)都(dou)已經往自動化發(fa)展。
1、石英(ying)坩堝(guo)可在1450度以下使用(yong),分透(tou)明(ming)和不(bu)透(tou)明(ming)兩種。用(yong)電弧(hu)法制(zhi)(zhi)的(de)半(ban)透(tou)明(ming)石英(ying)坩堝(guo)是拉(la)制(zhi)(zhi)大直徑(jing)單晶(jing)硅,發展(zhan)大規模集成電路必(bi)不(bu)可少的(de)基礎材料。當今,世界半(ban)導(dao)體工業發達國家已用(yong)此坩堝(guo)取代(dai)了小的(de)透(tou)明(ming)石英(ying)坩堝(guo)。他具有高純度、耐溫(wen)性(xing)強、尺寸(cun)大精度高、保溫(wen)性(xing)好、節約能(neng)源、質量穩定等(deng)優(you)點。
2、不能和(he)(he)HF接(jie)觸(chu),高溫時,極易和(he)(he)苛性堿及(ji)堿金屬的碳(tan)酸(suan)鹽作用。
3、石英坩堝(guo)適于(yu)用(yong)K2S2O7,KHSO4作(zuo)熔劑(ji)熔融樣品和用(yong)Na2S207(先在(zai)212度烘干)作(zuo)熔劑(ji)處理樣品。
4、石英質脆,易破(po),使(shi)用時要注意。
目(mu)前坩(gan)(gan)堝生(sheng)產涂層技(ji)術已被大多數廠家使用就是在坩(gan)(gan)堝表面(mian)涂上一層二(er)氧化(hua)鋇(bei)溶液使其形成致密(mi)層,其致密(mi)層能阻止(zhi)單晶硅高溫拉制過程中(zhong)硅與(yu)石英坩(gan)(gan)堝反應(ying)提高成晶率(lv)。
石英坩(gan)堝(guo)的使用及維護
1、石英坩堝主要化(hua)學成分是二氧(yang)化(hua)硅,除氫氟酸外不與其(qi)它酸作用,易與苛性(xing)堿及堿金屬碳酸鹽作用。
2、石(shi)英坩堝(guo)對(dui)熱的穩定(ding)性很(hen)好,可(ke)直接放在(zai)火(huo)焰上(shang)加熱
3、石英坩堝(guo)和玻璃器皿一樣,容易(yi)破碎,使用(yong)時要特(te)別小心(xin)