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石英熔金碗

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1、石(shi)英(ying)(ying)坩堝(guo)可(ke)在1450度(du)以下使用,分(fen)透(tou)明(ming)(ming)和不(bu)透(tou)明(ming)(ming)兩(liang)種。用電弧法制的半(ban)透(tou)明(ming)(ming)石(shi)英(ying)(ying)坩堝(guo)是(shi)拉制大(da)(da)直徑單晶硅,發展(zhan)大(da)(da)規模集(ji)成電路必不(bu)可(ke)少(shao)的基礎材(cai)料。當今(jin),世界半(ban)導體(ti)工(gong)業發達國家(jia)已用此坩堝(guo)取(qu)代了小的透(tou)明(ming)(ming)石(shi)英(ying)(ying)坩堝(guo)。他具有(you)高純度(du)、耐溫性強、尺寸(cun)大(da)(da)精(jing)度(du)高、保(bao)溫性好(hao)、節(jie)約能源、質(zhi)量穩定等優點。

2、不能和(he)HF接觸,高溫時,極易和(he)苛性堿及(ji)堿金屬(shu)的碳酸鹽作用。

3、石(shi)英坩(gan)堝適于(yu)用K2S2O7,KHSO4作熔劑(ji)(ji)熔融樣(yang)品(pin)和用Na2S207(先在(zai)212度烘干)作熔劑(ji)(ji)處理(li)樣(yang)品(pin)。

4、質脆,易破,使用時要注(zhu)意。

目(mu)前坩(gan)堝生產(chan)涂層(ceng)(ceng)技(ji)術(shu)已被大多數廠家使用就是在普通石英砂溶制的坩(gan)堝表面涂上一層(ceng)(ceng)二氧(yang)化鋇溶液(ye)使其形成致密層(ceng)(ceng),其致密層(ceng)(ceng)能阻止單晶(jing)硅高溫拉制過程中硅與石英坩(gan)堝反(fan)應提(ti)高成晶(jing)率。

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